半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
项目流程游戏背景
该各个各个商家为世界十大技术领先的半导体心片首测各个各个商家,座落在珠四角各地,主耍去高心片的划区和芯片封装测试测试。在当地政府环境保护规定要求严格的,各个各个商家决心实行废气零污染物市政工程。新项目于明年进行,202五年6月建设完工投建,处里大规模为200吨/日,总创业约2000亿元。
生产废水有效成分及来源于
此项原因小学划片废水处理方法还具有接下来优点:
高盐氧化还原电位氟化物,最主要出于晶圆切后的除污加工过程,氟阴阳离子盐氧化还原电位高达mg150-200mg/L
含有奈米级硅粉粒子,粒度多在100-500nm相互间
有机化学载荷较高,COD在500-800mg/L
包含有氢化物发生器血本属如铅、镉等
电阻率高,一般 在2000-3000μS/cm
治理 工序过程
为实现了污水处理技术物要求,生产技术定制特别思考污废水 分为处理和影视资源再利用:
生产废水细分汇集系统
:将含氟生活污水与的生活污水分开单独进行回收利用
生物学水解除氟
:应用多级钙盐沉积法,密切配合科学规范沉积池
二级氧化物处理
:O3催化剂的作用阳极氧化生物降解难净化处理设计物
膜果汁系统的
:适用DTRO碟管式反参透,浓缩液质数和合数为10倍
减压蒸馏晶粒
:MVR机械化减少空气再减少真空泵器外理浓水
干软件系统
:将成果盐非常干燥后作工艺副货品外售
进行处理使用效果
体统运营数据报告展示:
氟化物删去率>99.9%,有水出氟阴阳离子<1mg/L
COD总弄掉率>98%,冒水COD<20mg/L
水市场回收利用率>95%,仅带来少量出结晶体盐
每月可再利用高高质量造纸废水处理水约5万吨
心得盐色度实现了工业企业级标淮,实现了物资化运用
创业项目不做到了废污水零污染物,还在资原出售打造了约80多万元/年的加倍回报。