该案例分享出自华南地域的一家大中型半导体技术制做机构,最主要研发整合电路原理鑫霖环保芯片。在研发时候中,晶圆清洁工作、蚀刻等繁琐流程需便用丰富电子无线级磷酸(色度≥85%),因此带来高溶液浓度含磷废气。机构原本有补救建筑设施无非充分满足进一步按照严格的排放量标准规范(TP≤0.5mg/L),急需要强制升级整修。
化工废水组成成分及特征
生产焦化生活鑫霖环保通常由来于五个流程:晶圆清洁工作生产焦化生活鑫霖环保(占总供水量60%)、机情况呢生产焦化生活鑫霖环保(30%)及及地坪情况呢生产焦化生活鑫霖环保(10%)。水质量的特征呈现为:pH值1.5-2.5,总磷浓硫酸浓度800-1200mg/L,氟阴离子含氧量50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并包含有少量血本属(铜、锌等)。
净化处理制作工艺步骤
建设项目利用"预进行处理+电化学悠长岁月中+层级腐蚀+高度过滤系统"的团体工艺设计:
调整池
:均等化水环境发电量,现有pH手机监测站体系
特一级影响池
:添加生石灰粉乳设定pH至8.5-9.0,构成Ca3(PO4)2水解
中级生理反应池
:增长PAC和PAM进阶水解酸化池结果
斜板积累池
:完成固液离心分离,厌氧颗粒污泥進入脱水过滤系统软件
Fenton空气氧化第一单元
:H2O2与Fe²⁺推进能力可降解无机物
多媒介筛选器
:熔融石英砂+活力性炭组装进行过滤,狠抓出水出水纯净
阴阳离子交換系统软件
:进一个步骤剔除残余物材料阳离子
既定体验
体系加载相对稳定后,冒水饮用水质:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟亚铁离子≤5mg/L,几项指数公式强于《电子为了满足电子时代发展的需求,企业水被污染物质释放的标准》(GB 39731-2020)。每人每年减小磷释放约15吨,污泥干化发生量较中国传统工艺设计下降40%,加载直接费用掌控在8.3元/吨水。