该厂为89英寸晶圆会产生线生活设施的超蒸馏水软件系统，每天晚上会产生含硅生产废水150吨。生产废自来水中虽无天价属，但硅分子量高易结渣，且内阻率需到达18MΩ·cm才华回收利用。以往工作工艺设计没有需求新颁布法律的《电子技术制造业水水污染源直接释放规范》（GB39731-2020）尤其直接释放最大限度。 污废水 有效成分特别 大部分废弃物物 ：橡胶胶体部分硅（200-300mg/L）、顆粒硅（比表面积0.1-1μm） 层次性规定 ：TOC<10μg/L，硼含磷量<5μg/L 水体质量基本特征 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅氧化物姿态很复杂 加工工序过程 科技创新按照"梯级膜分离出来+电去阴离子"组合公式施工工艺： 微滤预补救 ：1μm工业陶瓷膜屏蔽广告大粒子硅，通量达到80LMH 亚铁离子互转不饱和树脂 ：D201大孔硅橡胶采用性树脂吸附硅酸原子 一级RO设备 ：最段收废率60%，第二种段主要采用高脱硼膜零件 EDI电去铁离子 ：电流大小密度单位2A/m²，不间断剔除残渣亚铁离子 太阳光的紫外线杀菌消毒 ：254nm太阳光的紫外线的线摄入量40mJ/cm² 能力特点 開發专业级阻硅剂（有机化学胺类复合型物），延长时间膜污染破坏频次3倍 EDI模组什么是创新流道的设计，硅出掉率加快至99.8% 高清在线硅进行检测仪（精确测量依据0.1-500μg/L）实现了精准性的操作 开机运行作用 经再次方的检测： 总硅从280mg/L调至0.05mg/L 硼含量从8μg/L调至0.3μg/L 整体收集率从原40%升级至68% 膜更換时间段延时至5年，年电脑运行费用较低35%