某半导体设备存储芯片制造出厂在晶圆加工厂方式中，用到硅烷做好硅本质生长期，废气洗涤剂塔诞生高质量浓度含硅废渣。废渣享有pH上下波动大（2-11）、硅水分含量高的亮点，经典除理形式易有硅垢网络堵塞，网络响应过慢或许卡死相关问题。 废污水材料及原因 生产废水主要的成份为： 消融性硅酸盐 ：SiO₂质量浓度达1000-1500mg/L 磷酸/氢被氧化钠 ：洗衣机清洗塔耐酸碱洗衣机清洗液残留物 顆粒硅 ：納米级SiO₂胶体溶液 痕量砷 ：原材沉淀物带进去 治理 的工艺环节 科技创新主要包括"多级结合+膜筛选+挥发析出"工艺技术： 一级通过成绩与 ：用CaO调试pH至4-5，转化硅酸钙滤渣，硅弄掉率60%。 两级中合 ：加Na₂CO₃将pH提高至9，进十步沉淀物用不完硅，串并联用镁剂除砷。 反渗透膜体统 ：0.02μm瓷砖膜进行过滤纳米级级硅顆粒，通量稳定可靠在80LMH。 MVR化掉器 ：浸提高盐废水处理，晶粒出Na₂SO₄副设备，水使用率超90%。 后面功能 总硅从1500mg/L降为5mg/L以上 砷含碳量从0.8mg/L降低0.01mg/L 模式无结渣加载超2年 每一年的收售硝酸钠钠尖晶石约800吨